KRACHT Product Express|Stromingsschakelaar VEFS2-serie

Gedreven door kunstmatige intelligentie, high{0}}performance computing (HPC), auto-elektronica en Internet of Things-toepassingen ondergaat de halfgeleiderindustrie een snelle transformatie. Deze opmerkelijke groei heeft echter ook nieuwe operationele uitdagingen met zich meegebracht. Nu de productieschaal zich in een ongekend tempo uitbreidt, worden speciale gassen met een hoog risico, zoals silaan en fosfine, op grote schaal gebruikt in halfgeleiderfabrieken. Elke ongecontroleerde gaslekkage veroorzaakt door een pijpleidingbreuk, losse fittingen, defecte afdichtingen of onjuiste installatie kan snel escaleren tot een ernstig veiligheidsincident, waardoor de veiligheid van het personeel in gevaar komt, kritieke productieapparatuur wordt beschadigd en kostbare ongeplande stilstand wordt veroorzaakt. Tegen deze achtergrond is de Excess Flow Switch (EFS) van VIGOUR, met zijn puur mechanische bedieningsontwerp en uitzonderlijke ultra{5}}hoge- zuiverheid (UHP) compatibiliteit, een onmisbare veiligheidsgarantie geworden voor speciale gastoevoersystemen, waaronder gaskasten en VMB's, in halfgeleiderproductielijnen over de hele wereld.

Het kernontwerpprincipe van de VIGOR EFS is het detecteren van abnormale stromingsomstandigheden en betrouwbaar reageren. Wanneer een stroomafwaartse pijpleidingstoring resulteert in een plotselinge en excessieve stroomstoot die het vooraf-ingestelde kritische uitschakelpunt overschrijdt, activeert het apparaat onmiddellijk een reactiesignaal. Dit signaal wordt verzonden via het openen of sluiten van elektrische contacten in de ingebouwde-reed-schakelaar, die vervolgens wordt gesynchroniseerd en naar het SCADA-systeem of het gasmonitoringsysteem (GMS) wordt gestuurd. Door real-waarschuwingen te geven en snelle geautomatiseerde reacties mogelijk te maken, ondersteunt het proactief veiligheidsbeheer, worden potentiële gevaren effectief beperkt en wordt de algehele betrouwbaarheid van het gasleveringsnetwerk versterkt.

Bij de productie van halfgeleiders kan elk onderdeel van het gassysteem een ​​potentiële bron van verontreiniging worden. Zelfs kleine deeltjes, metaalverontreinigingen of oppervlakteadsorptie kunnen de wafelkwaliteit in gevaar brengen en de productieopbrengsten verlagen. Daarom houdt VIGOR zich strikt aan de strenge normen van de halfgeleiderindustrie om materiaalzuiverheid, oppervlaktereinheid en operationele stabiliteit te garanderen.

Wat de materiaalnormen betreft, maakt VIGOR uitsluitend gebruik van roestvrij staal 316L dat is geproduceerd via de dubbele- VIM/VAR-smelttechnologie. Dit geavanceerde metallurgische proces vermindert de metallische insluitsels en resterende onzuiverheden aanzienlijk, waardoor een uitstekende corrosieweerstand wordt gegarandeerd en het risico op gasverontreiniging wordt geminimaliseerd. Voor oppervlaktebehandeling ondergaan alle producten geavanceerd elektrolytisch polijsten (EP), waarbij een interne oppervlakteruwheid van 5–10 μin behouden blijft. Een dergelijk glad, schoon interieur voorkomt dat gasmoleculen aan de binnenwanden adsorberen en elimineert deeltjesprecipitatie, waardoor een stabiele en contaminatievrije-gaslevering wordt ondersteund.

Bovendien biedt VIGOR EFS een ruime keuze aan kritische uitschakelpunten en flexibele configuratieopties voor uiteenlopende toepassingsscenario's. Door eenvoudige parameterafstemming kunnen gebruikers eenvoudig het nauwkeurige model bepalen op basis van specifieke gastypen, werkdrukomstandigheden en maximaal toegestane stroomsnelheden. Deze hoge mate van maatwerk garandeert nauwkeurige en betrouwbare over{2}}overstromingsbeveiliging voor diverse ultra-hoge-zuiverheidsgastoepassingen in de moderne halfgeleiderfabricage.

  Stromingsschakelaar voor toepassingen met hoog debiet

 Verkrijgbaar met horizontale of verticale hoofdlijn

 Minimale drukval door het apparaat

 RVS 316L roestvrij staal